来源:苏州银邦节能电热设备有限公司 时间:2024-05-19 14:54:07 [举报]
一般的电热真空无尘干燥箱都采用先加热真空室壁面、再由壁面向工件进行辐射加热的方式。在这种方式下,控温仪表的温度传感器可以布置在真空室外壁。传感器可以同时接受对流、传导、和辐射热。而处于真空室里的玻璃棒温度计只能接受辐射热,更由于玻璃棒黑度不可能达到1,相当一部分辐射热被折射了,因此玻璃棒温度计反映的温度值就肯定低于仪表的温度读数。一般讲,200℃工况时仪表的温度读数与玻璃棒温度计的读数两者相差30℃以内是正常的。如果控温仪表的温度传感器布置在真空室内,玻璃棒温度计的温度值与仪表的温度读数之间的差异可以适当缩小,但不可能消除,而真空室的密封可靠性增加了一个可能不可靠环节。如果从操作实用角度考虑不希望看到这个差异,可以采用控温仪表特有的显示修正功能解决。
无尘洁净烘箱由外壳、烘烤区、加热系统、转子流量计,气体减压调节阀、排气口等部件组成。箱体由簿钢板加工焊接而成、烘烤区内壁选用不锈钢板、箱体与内室之间填充硅酸铝纤维作保温材料。箱门与烘烤区边框装有保温密封条(耐高温门封条和迫紧装置)因此有效地了箱体的密封性能、节约氮气,洪烤区内配置抽动的三层载物网板( 可按需设计)。
工作步骤:
1.工作前:
(1)确认电气是否正常
(2)将欲烘烤产品放置烘箱内
(3)开启电源开关并调整温控仪表适当温度与加热恒温时间。( 4)开启鼓风开关,开启加热开关,开始工作
2.无尘洁净烘箱工作中:
(1)专心操作并配戴防护器具
(2)操作人员严禁离开加工区
无尘高温箱系列用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
无尘洁净烤箱内外应经常保持清洁,长期不用应罩好塑料防尘罩,放在干燥的室内,高温状态下禁止打开箱门,加热过程中务必风机是正常运转,严禁安装在潮湿的环境下运行,操作人员熟悉无尘洁净烤箱的结构、性能、工作原理及调整方法,操作方法及保养知识。
一般精密烘箱的内部循环方式有水平送风和垂直送风,为了达到内部无尘的环境,需要在出风口的位置增加高温过滤装置(又分为千级和百级过滤器)。烘箱内的空气通过回风口后,一部分经过排气口排除箱外,另外的经过循环通道再次加热,后通过过滤器后回到工作室。除了过滤空气外,另外要尽量避免工作过程中产生灰尘,需要选用的材料、电器。如加热管需要在高温下不能产生颗粒。
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