来源:苏州银邦节能电热设备有限公司 时间:2024-04-29 13:58:40 [举报]
无尘洁净烘箱由外壳、烘烤区、加热系统、转子流量计,气体减压调节阀、排气口等部件组成。箱体由簿钢板加工焊接而成、烘烤区内壁选用不锈钢板、箱体与内室之间填充硅酸铝纤维作保温材料。箱门与烘烤区边框装有保温密封条(耐高温门封条和迫紧装置)因此有效地了箱体的密封性能、节约氮气,洪烤区内配置抽动的三层载物网板( 可按需设计)。
无尘高温箱系列用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
无尘洁净烤箱内外应经常保持清洁,长期不用应罩好塑料防尘罩,放在干燥的室内,高温状态下禁止打开箱门,加热过程中务必风机是正常运转,严禁安装在潮湿的环境下运行,操作人员熟悉无尘洁净烤箱的结构、性能、工作原理及调整方法,操作方法及保养知识。
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